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以氧化铝为原料制备,适合SIC衬底晶圆加工,PH为酸性,适合单片加工工艺。

产品说明

1.本产品适合单片抛光机一次抛光,后续无需增加其他抛光流程;

2.含高锰酸钾酸性氧化铝抛光液;

3.如循环使用,请增加对应的过滤,建议直排使用;

4.建议配合耐腐蚀性强的抛光垫,在高速高压下使用。

产品数据
产品型号SIC-AC600
产品属性
固含量<10%
酸碱性酸性
主要成分氧化铝
应用场景粗抛光
加工材料碳化硅


注意事项

储存条件:避免暴晒,储存温度为0-40℃之间;

保质期:6个月;

注意事项:避免敞口长期与空气接触;

包装规格:采用吨桶包装,5公斤/桶或20公斤/桶。